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CMP 공정을 위한 유체 및 분자 동력학 엔진 개발
Engine of Fluid and Molecular Dynamic for CMP process 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 중앙대학교
Chung Ang University
연구책임자 황호정
참여연구자 문원하 , 김태원 , 함정국 , 이재경 , 서재정 , 권순업
보고서유형3단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-08
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200900073225
과제고유번호 1350015544
사업명 국책연구개발사업
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 CMP.분자동역학.유체역학.모델링.전산모사.CMP.Molecular-Dynamic.Fluid Dynamic.Modelling.Simulation.

초록 ▼

본 연구에서 개발하고자 하는 CMP 공정 시뮬레이터의 개발은 두가지 측면에서 비교 분석할 수 있는 툴을 제공한다. 기존의 공정 시뮬레이터 툴은 단지 유체역학 (Fluid Dynamics)적인 측면에서 거시적 공정과정을 분석할 수 있었지만, 이번에 개발하고자하는 툴은 거시적 측면뿐만 아니라 미시적 측면, 즉 분자 및 원자 단위에서 일어나는 현상을 이해할 수 있는 분자 동역학(Molecular Dynamics) 해석 시뮬레이터를 제공함으로써, 더욱더 폭넓은 분석툴을 개발하고자 한다. 이는 향후 제품의 응용 가능성을 높여줌으로써 타 공정

Abstract ▼

CMP(Chemical Mechanical Polishing) is a rocess which planarizs a wafer surface to facilitate a following photo-lithography process or multi-level metalization. CMP process simulation offers the understanding of CMP process, which is one of the important semiconductor process. This tool include the a

목차 Contents

  • 제1장 연구개발과제의 개요...9
  • 1.1 개발 과제 개요...9
  • 1.2 기술 개발의 필요성...11
  • 제2장 국내외 기술개발 현황...11
  • 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...13
  • 3.1 연구 개발 수행 내용...13
  • 3.2 연구 개발 과제별 목표...15
  • 3.3 연구 개발 추진전략 및 방법...16
  • 3.4 참여기관 역할분담 및 상호 연계성...17
  • 3.5 연구 개발 추진체계...18
  • 3.6 연구 개발 수행 결과...21
  • 제4장 목표달성도 및 성능 비교...34
  • 4.1 연구 개발 주요 결과 목표 달성도...34
  • 4.2 연구 결과 실적물 및 등록 현황...34
  • 제5장 연구개발결과의 활용계획...40
  • 5.1 프로그램 개발을 위한 타 기관과의 연계성...40
  • 5.2 참여 기업을 통한 사업화 방안 마련...40
  • 5.3 향후 사업화 구축 방안...41
  • 제6장 연구개발결과의 기대효과...43
  • 6.1 기술적 측면...43
  • 6.2 경제, 산업적 측면...43
  • 제7장 참고문헌...43

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참고문헌 (25)

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