[보고서]초소형 정밀소자(MEMS) 해석 소프트웨어 개발

조종두

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[국가R&D연구보고서] 초소형 정밀소자(MEMS) 해석 소프트웨어 개발
Engineering Software for Designing the MEMS Devices 원문보기

보고서 정보
주관연구기관	인하대학교 InHa University
연구책임자	조종두
보고서유형	3단계보고서
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	2004-04
과제시작연도	2002
주관부처	과학기술부
과제관리전문기관	한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호	TRKO200900073228
과제고유번호	1350015062
사업명	공학용 해석 소프트웨어 기술개발사업(국책연구개발사업)
DB 구축일자	2013-04-18
키워드	초소형 정밀소자.초소형 정밀소자 해석 소프트웨어.공정 시뮬레이션.유한요소법.미소 작동기.미소 감지기.MEMS.MEMS analysis software.Process simulation.MEMS device simulation.Finite element method.Micro actuator.Micro sensor.

초록 ▼

초소형 정밀소자(MEMS)의 설계 및 성능평가를 위한 MEMS 해석 소프트웨어의 개발을 목표로 하는 본 연구 과제에서는 금번 1단계 연구기간(2001. 12-2003. 9)동안 다음의 연구가 진행되었음.
1. 공정 시뮬레이터의 개발
${\circ}$ Tcl/Tk을 이용한 공정 시뮬레이션 프로그램의 개발
${\circ}$ MEMS 구조생성을 시각화할 수 있는 후처리 기능의 개발
${\circ}$ 격자 생성기 및 격자 재정련 알고리즘의 개발
2. 소자단위 시뮤레이터의 개발
${\circ}$ 계산 속도 향상을 위한 행렬 계산 알고리즘의 개발
${\circ}$ 고유치 해석기의 개발
${\circ}$ 정전기장 해석기의 개발
${\circ}$ 변위장 해석기의 개발
${\circ}$ 정전-변위 연성 해석기의 개발
${\circ}$ 동적 해석기의 개발
3. 기초적인 단계의 전후처리기의 개발
${\circ}$ Visual C++을 이용한 전후처리 인터페이스 개발
${\circ}$ OpenGL 을 이용한 후처리 기능 개발
- 피처(feature)의 이동, 회전, 선택, 축소 및 확대복사
- 등고선, 그래프 등

Abstract ▼

Results of the research:
MEMS structure fabrication simulator including
- Fabrication simulation program using Tcl/Tk
- Three-dimensional visualizer for MEMS structure
- Finite element mesh generator
Development of the analysis modules for MEMS device including
- Eigenanalysis module
- Electrostatic analysis module
- Linear/nonlinear stress analysis module
- Dynamic analysis module
- Electro-mechanical coupling analysis module
Development of the pre/post processors for MEMS device simulator featuring:
- Graphic user interface
- Graphic
- Coutour plot/Graph etc.

목차 Contents

표지...1
제출문...2
보고서 초록...3
요약문...4
SUMMARY...8
CONTENTS...9
제1장 연구개발과제의 개요...10
제1절 연구목표...10
제2절 연구의 필요성...10
제3절 연구의 범위...12
제2장 국내외 기술개발 현황...15
제1절 EMS 구조물의 생성 시뮬레이션에 관한 연구의 동향...15
제2절 MEMS 소자의 해석에 연구동향...16
제3절 MEMS 시스템 모델링에 관한 연구동향...19
제3장 연구개발수행 내용 및 결과...21
제1절 1차년도 연구내용...21
제2절 2차년도 연구내용...30
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...38
제1절 1차년도 연구내용...38
제2절 2차년도 연구내용...40
제5장 연구개발결과의 활용계획...42
제1절 연구 성과의 활용방안...42
제2절 추가 연구의 필요성...43
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...44
제7장 참고문헌...45
특정연구개발사업 연구결과 활용계획서...47
연구결과 활용계획서...48
기술 요약서...58

참고문헌 (25)

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