초록 ▼

가. 최종 연구목표
정보통신용 IT 융복합기술의 핵심·원천기술 개발을 위한 공동연구 환경조성과 연구 장비 공동 활용을 위한 IT융복합특화 연구센터(Research Center) 구축
나. 연구수행 범위
- 모듈실험실 시설보완 및 기존장비 개선
- 신규장비 도입 및 설치
- 연구장비 공동활용
- 핵심·원천기술 개발 및 IP DB 구축
- IT 융복합기술 관련 워크샵 및 기술교류회
다. 연구의 내용
- 모듈실험실 시설보완 및 기존장비 개선
. IT-BT 및 IT융복합 모듈실험실

가. 최종 연구목표
정보통신용 IT 융복합기술의 핵심·원천기술 개발을 위한 공동연구 환경조성과 연구 장비 공동 활용을 위한 IT융복합특화 연구센터(Research Center) 구축
나. 연구수행 범위
- 모듈실험실 시설보완 및 기존장비 개선
- 신규장비 도입 및 설치
- 연구장비 공동활용
- 핵심·원천기술 개발 및 IP DB 구축
- IT 융복합기술 관련 워크샵 및 기술교류회
다. 연구의 내용
- 모듈실험실 시설보완 및 기존장비 개선
. IT-BT 및 IT융복합 모듈실험실 시설개선
. 기존장비 개선
- 신규장비 도입 및 설치
. I-선 스테퍼(i-line stepper)
. 인라인 선폭측정 전자현미경(In line CD-SEM)
. 밀착형 사진전사 노광장비(Contact Aligner)
. 플라즈마 여기 화학적기상증착장비(PECVD)
. 화학-기계 연마장치(CMP)
. 대전력 반도체 소자 테스트 장비(High-Current Semiconductor Device Test)
. TACD Sentaurus 전력소자 시뮬레이터(TCAD Sentaurus Power Device Simulator)
- 연구장비 공동활용
. 융복합 공동시험 환경조성을 통한 연구장비 공동활용
- 핵심·원천기술 개발 및 IP DB 구축
. 핵심 원천기술 개발 및 IP DB화
- IT 융복합기술 관련 워크샵 및 기술교류회

Abstract ▼

A. Final Goal
Establishment of the fusion technology research center for co-use of the research equipment and co-development of the core and basic technology of the IT fusion technologies
B. Scope
- Module laboratory set-up and existing facility improvement
- New equipment set-up
- Co

A. Final Goal
Establishment of the fusion technology research center for co-use of the research equipment and co-development of the core and basic technology of the IT fusion technologies
B. Scope
- Module laboratory set-up and existing facility improvement
- New equipment set-up
- Co-use of research equipments
- Core basic technology development and
. IP DB set-up of IT fusion technology
- Workshop and technology seminar for fusion technology
C. Contents
- Module laboratory set-up and existing facility improvement
. IT-BT module and IT fusion module laboratory upgrade
. Existing equipment upgrade
- New equipment set-up
. I-line Stepper
. In line CD-SEM
. Contact Aligner
. PECVD
. CMP
. High-Current Semiconductor Device Tester
. TCAD Sentaurus Power Device Simulator
- Co-use of research equipments
. Co-use of research equipment by building up
. IT fusion common test environment and infra setup
- Core basic technology development and
. IP DB set-up of IT fusion technology
. Core basic technology development and IP DB set-up
- Workshop and technology seminar for fusion technology

목차 Contents

• 표지...1
• 인사말씀...3
• 제출문...4
• 요약문...5
• SUMMARY...12
• CONTENTS...18
• TABLES...20
• FIGURES...21
• 목차...25
• 표목차...27
• 그림목차...28
• 제1장 서론...32
• 제1절 연구의 목적...33
• 제2절 연구의 중요성...35
• 제2장 연구 결과...37
• 제1절 모듈실험실 조성 및 시설개선...38
• 1. 청정실 칸막이 보완공사...38
• 2. PECVD 및 CMP 유틸리티 배관공사...42
• 3. I-line 스테퍼 및 Mask aligner 방진대 공사...49
• 제2절 기존장비 개선...53
• 1. Wet Station 장비 개선...53
• 2. High current ion-implant 장비 개선...57
• 제3절 신규 나노소자용 공정장비 도입/설치...61
• 1. 신규장비 도입방안 및 절차...61
• 2. I-line 스테퍼 장비 도입 및 설치...62
• 3. In line CD-SEM 장비 도입 및 설치...69
• 4. Contact Aligner 장비 도입 및 설치...73
• 5. PECVD 장비 도입 및 설치...80
• 6. CMP 장비 도입 및 설치...85
• 7. 대전력 반도체 소자 테스트 장비 도입 및 설치...93
• 8. TCAD Sentaurus 전력소자 simulator 도입 및 설치...98
• 제4절 핵심기술 개발 및 IP DB 구축...103
• 1. 실리콘 나노 wire 바이오 센서...103
• 2. 고에너지 입자감지용 대면적 스트립픽슬 센서...106
• 3. 400V급 범용 전력 IC용 SOI LDMOS...114
• 4. 300A급 트렌치게이트 TDMOS 전력 소자 기술...125
• 5. 비접촉식 식품 품질 진단용 센서 모듈...132
• 6. Healthcare용 고주파 발진기 및 전력소자 집적화 회로설계...146
• 제3장 결론...155
• 부록...156