초록 ▼

1. 최종 목표
100nm 해상도를 갖는 나노 X-선 Computed Tomography 시제품 개발
2. 연구개발 내용
- 공간분해능 100nm급의 X-선 나노 CT 시스템 제작
- 고휘도 경 X-선 발생 마이크로 X-선원 개발
- 고분해능 X-선 영상검출기 개발
- 다층박막 모노크로메터 제작
- 조명용 모세관 광학계 설계 및 제작
- 대물광학계용 존플레이트 설계 및 제작
3. 연구개발 결과
- 고휘도 X-선원 발생특성 실험 및 고분해능 영상센서칩 원형 개발
- 나노 CT

1. 최종 목표
100nm 해상도를 갖는 나노 X-선 Computed Tomography 시제품 개발
2. 연구개발 내용
- 공간분해능 100nm급의 X-선 나노 CT 시스템 제작
- 고휘도 경 X-선 발생 마이크로 X-선원 개발
- 고분해능 X-선 영상검출기 개발
- 다층박막 모노크로메터 제작
- 조명용 모세관 광학계 설계 및 제작
- 대물광학계용 존플레이트 설계 및 제작
3. 연구개발 결과
- 고휘도 X-선원 발생특성 실험 및 고분해능 영상센서칩 원형 개발
- 나노 CT 시스템 최적화 및 영상획득(100nm급 토모그라피 영상획득)
- 나도 X-선 광학소자 개발
· capillary: 최대직경 272㎛, 최소직경 193㎛, 길이 120㎛
· zone plate: 최외곽폭 40nm, 존개수 153, 직경 24.48㎛
· 다층박막거울 모노크로메이터: 8.4keV 용 반사율 : 77%±5, 반치폭 0.25keV
- 영상획득 및 최적화 기술 개발(고속영상재구성, 고용량 고속 병렬영상처리)

Abstract ▼

● Establishment of database for nano X-ray CT and design of optical system
● Design, optimization and manufacture of X-ray optical components
● Design, optimization and manufacture of integrated nano X-ray CT system
● Development of control system for integrated nano X-ray CT
● Developme

● Establishment of database for nano X-ray CT and design of optical system
● Design, optimization and manufacture of X-ray optical components
● Design, optimization and manufacture of integrated nano X-ray CT system
● Development of control system for integrated nano X-ray CT
● Development of tomographic reconstruction algorithm for nano X-ray CT
● Acquisition and evaluation of CT image of nanometer resolution

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 요약서...3
• 요약문...4
• SUMMARY...5
• CONTENTS...6
• 목차...7
• 제1장 연구개발과제의 개요...8
• 제1절 연구개발의 목적...8
• 제2절 연구개발의 필요성...8
• 제2장 국내외 기술개발 현황...13
• 제1절 국외 연구개발 내용...13
• 제2절 국내 연구개발 내용...14
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...16
• 제1절 100nm급 나노CT 시스템 광학계 및 광학소자 개발...16
• 제2절 나노 CT 시스템 통합설계 및 개발...26
• 제3절 나노 CT 영상 획득 및 영상 평가...34
• 제4절 고휘도 X-선 마이크로빔원 기술 개발...40
• 제5절 고해상도 픽셀형 CsI(Tl) 박막형 섬광체 기술 개발...46
• 제6절 고분해능 X-선 Image Sensor Chip 기술 개발...52
• 제4장 목표달성도 및 관련분야 기여도...62
• 제1절 목표달성도...62
• 제2절 관련분야 기여도...64
• 제5장 연구개발결과 활용계획...65
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...66
• 수정·보완요구사항 반영내역...70