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NTIS 바로가기주관연구기관 | 네패스 |
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보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 지식경제부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000006972 |
과제고유번호 | 1415093568 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 엘시디,슬리밍,비불산,에칭,연마LCD,Slimming,non-HF,Etching,Polishing |
1.NON-HF Etching Rate up grade
- 1차년도 E/R main factor에 따른 추가 검증 및 개선
- FB 및 SL 양 증가를 통한 E/R 증가 효가가 큰 것으로 보이며
- 이론적인 실험 근거로 조합 비율 Control에 의한 개선은
2.Super slimming
-단차식각:내산 tape와 내열taping방식채택으로 target thickness
0.35mm확보
-초박형:현재 안정적 line 생산은 0.30t 수준으로 0.25t까지는
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