초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
Glass 는 우수한 광학적, 화학적, 전기적 특성을 가지고 있어 Display, 광 통신 및 조명 분야의 필수 소재로 많이 이용되고 있으나, 소재의 Brittle한 특성은 적용 목적에 맞게 Glass 를 가공하는 데 큰 어려움을 주고 있다. 본 과제에서는 Laser Beam을 열원으로 사용하여 후속 공정 없이 Glass 소재를 빠르고 정밀하게 절단하는 방법에 대해 연구하고자 하였으며. 세부 목표는 다음과 같다.
1. 다양한 파장 및 시간적 모드를 가진 Laser 들과 Gla

□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
Glass 는 우수한 광학적, 화학적, 전기적 특성을 가지고 있어 Display, 광 통신 및 조명 분야의 필수 소재로 많이 이용되고 있으나, 소재의 Brittle한 특성은 적용 목적에 맞게 Glass 를 가공하는 데 큰 어려움을 주고 있다. 본 과제에서는 Laser Beam을 열원으로 사용하여 후속 공정 없이 Glass 소재를 빠르고 정밀하게 절단하는 방법에 대해 연구하고자 하였으며. 세부 목표는 다음과 같다.
1. 다양한 파장 및 시간적 모드를 가진 Laser 들과 Glass 재질 간 반응 Mechanism 정립 및 최적화 절단 방법 제시
2. Glass 에 대한 Laser Beam의 흡수율을 증가시켜 Glass 절단 성능을 향상시킬 수 있는 방안 확보
- Hybrid Laser 공정 기술을 이용하여 Glass 절단 공정을 개선할 수 있는 방안 확보

○ 전체 내용
상용화 Laser의 파장 영역에 대한 Glass 소재의 높은 투과도는 Glass 가공 시 Laser 선택에 많은 제약을 준다. 본 과제에서는 Laser 파장 및 시간적 모드에 따른 Glass 재질의 반응 및 절단 특성 (흡수 및 투과)을 평가하고 Glass 기판 가열과 되반사 빔을 이용하여 흡수도를 높여 절단 성능을 개선시키는 연구를 수행 하였다. 또한, 본 과제에서는 Laser 유도 플라즈마의 충격파를 Glass 절단에 이용하는 Hybrid Glass 절단 방법에 대한 연구도 수행되었다.

□ 연구개발성과
- 다양한 Laser (파장 및 시간적 모드) 및 Glass 재질 간 Interaction 현상에 대한 근본적인 이해와 Mechanism 정립 및 최적화 Laser Glass 절단 방법 제시
- 빔 흡수도 증가에 따른 Glass 절단 공정 개선 방법 (되반사 빔 및 Glass Pre-Heating) 확보
- Hybrid Laser 공정 (Laser 유도 Plasma 이용) 개발을 통한 Glass 절단 공정 개선 방법 확보

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
- Glass 가공에 대한 수요가 많은 Display 및 Optoelectronics 산업에 Laser Glass 가공 기술이전 및 관련 분야 기술 선도　기여
- Laser 기반의 Precision Machining 기술 적용이 확대되고 있는 반도체와 전자/전기 부품 산업에 본 연구의 결과물 적용 및 관련 산업 기술개발 발전에 기여
- 본 과제의 결과물을 활용한 관련 분야 정부 및 산한 연구과제 수주 및 Glass 접합 등 새로운 Laser 공정 기술 발굴

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 8
• (1) 1차년도 연구 수행 과정 및 수행 내용 ... 8
• (2) 2차년도 연구 수행 과정 및 수행 내용 ... 10
• (3) 3차년도 연구 수행 과정 및 수행 내용 ... 12
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 13
• (1) 1차년도 연구의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 13
• (2) 2차년도 연구의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 16
• (3) 3차년도 연구의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 18
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 23
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 23
• 6. 참고문헌 ... 24
• 끝페이지 ... 25