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Flexible 기판 코팅용 고출력 펄스 마그네트론 음극 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)AVACO
연구책임자 안병철
보고서유형중간보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2008-10
과제시작연도 2007
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000008401
과제고유번호 1425040956
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2015-01-08

초록 ▼

1차년도 목표인 고출력을 위한 저발열형 펄스 마그네트론 음극 설계 완료하였다.
- 주관기관에서는 기존 DC용 마그네트론 음극의 펄스 운전 특성파악 및 해석을 하였으며, ITO, Al 막 이외에 ZnO, Ti, SiO2도 특성 파악을 하였다
. 그리고 고출력 운전을 위한 냉각효율 증대와 High Depo. Rate을 갖는 저발열형 펄스 마그네트론 음극을 설계하였다.
- 위탁기관 군산대에서는 펄스 마그네트론의 플라즈마 진단 및 분석을 하였으며, 구체적으로는 마그네트론 음극의 전자장 및 열전달 해석과 플라즈마 특성 진단

목차 Contents

  • 중소기업 기술혁신개발사업 진도보고서 ...1
  • 기술개발 추진현황 ...2
  • 사업비 사용내역서 ...4
  • 1. 주관기관 ...4
  • 가. 비목별 총괄 ...4
  • 나. 세부집행내역 ...6
  • 연구기자재 관리현황 ...7

참고문헌 (25)

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