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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국디스플레이연구조합 |
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연구책임자 | 장홍영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-07 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039543 |
과제고유번호 | 1711026068 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 반도체.디스플레이.플라즈마.스퍼터링.고밀도 펄스 플라즈마. |
□ 핵심기술
플라즈마 기술을 중심으로 디스플레이 및 반도체 증착장비 시스템 개발
□ 최종목표
[1세부] 반도체-디스플레이 증착장비용 원천기술 개발
[2세부] 1x/2xnm급 반도체용 증착장비 핵심기술 개발
[3세부] 폭 1,500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
[1세부] 플렉시블 디스플레이 증착용 스퍼터 공정기술 개발을 위한 다중 주파수 및 ferrite를 적용한 고밀도 플라즈마원 개발 및 MPP를 이용
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