초록 ▼

1. (최종년도, 당해년도) 목표
최종년도: RGA(residual gas analyser)를 이용하여 10-6 ~ 10-3 Pa 고진공 영역의 기체조성에 따른 부분압의 정량적 측정기술의 표준화 및 ISO 국제규격 제정
당해연도: "Specification of QMS"에 대한 NP 기고문을 발표하고 NP투표 및 승인은 당해연도 혹은 2009년도 전반기에 실행함.
2. 당해 기반구축 목적 및 중요성
RGA측정기술의 국제/국내전문가들과 공동협력하여 ISO/TC 112에 신규규격 초안을 만들고 이를 위하여 기반구축

1. (최종년도, 당해년도) 목표
최종년도: RGA(residual gas analyser)를 이용하여 10-6 ~ 10-3 Pa 고진공 영역의 기체조성에 따른 부분압의 정량적 측정기술의 표준화 및 ISO 국제규격 제정
당해연도: "Specification of QMS"에 대한 NP 기고문을 발표하고 NP투표 및 승인은 당해연도 혹은 2009년도 전반기에 실행함.
2. 당해 기반구축 목적 및 중요성
RGA측정기술의 국제/국내전문가들과 공동협력하여 ISO/TC 112에 신규규격 초안을 만들고 이를 위하여 기반구축 및 평가실험 수행
3. 기반구축 내용 및 범위
o ISO/TC 112에 신규규격을 위한 초안 작성
o ISO/TC 112 독일, 일본 의장을 초빙하여 세미나 및 회의개최
o 한국 KRISS와 일본 NMIJ QMS 전문가들과 ISO 규격관련 공동작업
o 가스조성 평가장치 구축 및 불확도 평가실험 (불확도 10% 이내)
o 혼합가스에 대한 조성비 측정 실험 (측정오차 10% 이내)
4. 기반구축의 성과
o ISO/TC 112의 도쿄 총회에서 신규규격 제안하기로 확정
o 가스조정 평가장치 구축 및 부분압 측정실험 (측정 오차 10% 이내)
5. 활용방안 및 기대효과
o QMS 관련 ISO 신규규격을 주도적으로 제정하여 진공기술의 국제선도
o 산업체의 QMS 장치를 교정하고 측정기술 교육, 기술지도 평가장치 구축 및 기체조성 측정실험 (측정 오차 10% 이내)

Abstract

This project is to standardize quantitative measurement of partial pressure of various gas composition with RGA in high vacuum of 10-6 ~ 10-3 Pa and to establish its international standard

목차 Contents

• 중간보고서 제출서 ...1
• 제출문 ...3
• 요약서(초록) ...4
• 목차 ...5
• 제1장 최종 및 당해 연도 사업목표 및 내용 ...6
• 제1절 최종 사업목표 및 내용 ...6
• 제2절 당해연도 사업목표 및 내용 ...7
• 제3절 당해 연도 사업 세부내용 ...8
• 제2장 사업추진현황 ...10
• 제1절 연차별 연구 성과 ...10
• 제2절 추진실적현황표 ...11
• 제3절 당해 연도 주요 사업추진 현황 ...12
• 제3장 당해 연도 연구 성과 ...13
• 제1절 당해 연도 연구 성과 ...13
• 제2절 규격제안/제정 및 국제 표준화 활동 ...15
• 부록:　첨부화일 목록 ...36
• *첨부화일 - 기술지도 실적...37
• *첨부화일 - WG2 의장 Dr. Jousten의 편지; NP 초안에 대한 comment를 요청한 내용...41
• *첨부화일 - ISO/TC 112 WG2 NWIP 제출서류 및 “Definitions and specifications for QMS" NP 제안서...42