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NTIS 바로가기주관연구기관 | 코닉시스템(주) |
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연구책임자 | 곽신웅 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-09 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 지식경제부 |
연구관리전문기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000010449 |
과제고유번호 | 1415087772 |
사업명 | 제조기반전략기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | SEM.FE-SEM.electron gun.Vacuum system.specimen chamber.electromagnetic lens system.stage.column. |
방출전자의 총 전류 및 시료에 도달하는 에너지를 결정짓는 전자총은 전자현미경의 질을 결정짓는 가장 중요한 부분 중에 하나이다. 일반적으로 전자총의 열전자형, 전계 방출형 그리고 열 전계 방출형 3가지로 구분이 된다. 최종 목표인 전계 방출형 전자현미경의 개발을 위하여 열전자 및 전계방출형 전자총 두 가지가 개발되었다. 열전자형 전자총의 경우 경통부의 안정성 평가를 손쉽게 하기 위하여 함께 개발되었다. 전계 방출형 전자총의 경우는 시스템 조립 시 초고진공도를 요구하기에 시스템 셋업 및 테스트의 긴 소요시간이 요구 되기 때문이다.
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