$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국가R&D연구보고서] 전자빔 기반 나노 측정 장비 개발 과제
Development of electron beam based nano-metrological equipment 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 코닉시스템(주)
연구책임자 곽신웅
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2008-09
과제시작연도 2008
주관부처 지식경제부
연구관리전문기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000010449
과제고유번호 1415087772
사업명 제조기반전략기술개발
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 SEM.FE-SEM.electron gun.Vacuum system.specimen chamber.electromagnetic lens system.stage.column.

초록

방출전자의 총 전류 및 시료에 도달하는 에너지를 결정짓는 전자총은 전자현미경의 질을 결정짓는 가장 중요한 부분 중에 하나이다. 일반적으로 전자총의 열전자형, 전계 방출형 그리고 열 전계 방출형 3가지로 구분이 된다. 최종 목표인 전계 방출형 전자현미경의 개발을 위하여 열전자 및 전계방출형 전자총 두 가지가 개발되었다. 열전자형 전자총의 경우 경통부의 안정성 평가를 손쉽게 하기 위하여 함께 개발되었다. 전계 방출형 전자총의 경우는 시스템 조립 시 초고진공도를 요구하기에 시스템 셋업 및 테스트의 긴 소요시간이 요구 되기 때문이다.

목차 Contents

  • 진도보고서 제출서 세부주관기관용 ...1
  • 진도보고서 ...2
  • I. 당해연도 추진 실적 ...3
  • I-1 기술개발 추진 일정 ...3
  • I-2 당해 연도 추진 실적 ...4
  • II. 기술개발결과 ...5
  • 가. 전자현미경 개발...5
  • 1. 전자총 (Electron gun) ...5
  • 2. 전자광학 system ...18
  • 3. Specimen handling system ...34
  • 4. Vacuum system ...42
  • 5. Image test ...61
  • III. 결론 및 향후계획 ...64
  • 1. 결론 ...64
  • 2. 향후 계획 ...65
  • IV. 사업비 사용현황(위탁기관) ...70
  • V. 기업 재무건전성 현황 ...71
  • 세부과제에 대한 대표자의 평가의견서 ...72

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

유발과제정보 저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로