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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아이엠티 |
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연구책임자 | 이종명 |
참여연구자 | 윤인근 , 이병렬 , 조성호 , 조형기 , 조문기 , 이상승 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-09 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000015329 |
과제고유번호 | 1410058458 |
사업명 | 청정생산기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
(1) 반도제 장비 부품 세정의 중요성
▶ 장비 부품의 Life-time을 증가시킴으로서 장비 및 생산 유지비 절감
▶ 표면 오염물질 제거에 의한 생성 입자(particles)의 감소로 생산 수율(yield) 향상
▶ 고가의 소모성 부품의 구입 비용 감소에 의한 생산 원가 절감
▶ 공정 중 발생하는 미세 Particle 제어에 의한 반도체 생산 공정의 안정화
(2) 반도체 장비 부품 세정 시 고려 사항
▶ 모재의 특성 : 재질, 표면상태 및 취약성
▶ 오염물질의 특성 : 물질의 종류 및 성분 결
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