$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

보고서 상세정보

반도체 제조공정의 진공배관 세정장치

과제명 반도체 제조공정의 진공배관 세정장치 개발
주관연구기관 (주)테라텍
연구책임자 장덕현
참여연구자 백기남, 김환윤
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2004-04
과제시작년도 2003
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000015424
과제고유번호 1420005498
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2013-04-18
초록

(1) 최적의 Fluorine Radical을 생성 할 수 있는 Plasma Reactor 개발
(2) RF Manual Matcher 개발
(3) Fluorine Radical distributor 개발
(4) 적정...

상세조회 0건 원문조회 0건

이 보고서와 함께 이용한 콘텐츠