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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)포톤 |
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연구책임자 | 조중근 |
참여연구자 | 한도운 , 박근영 , 추연웅 , 이태선 , 박형기 , 강병수 , 최유영 , 최경식 , 이현실 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-07 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700007084 |
과제고유번호 | 1415140809 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화(R&D) |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 반도체.세정.챔버.초박형. |
□ 핵심기술
초박형 공정 모듈 및 스핀들 모터 및 기타 시스템
□ 최종목표
■ 반도체 세정 장비에 적용하기 위한 700mm 이하 높이의 초박형 공정 모듈 개발
■ 정말한 유량 및 약액 온도 제어 기능 구현
□ 개발내용 및 결과
■ 산과 알칼리 둥 다양한 약액의 기체와 액체를 분리 배출하는 구조의 Bow 개발
■ 박형으로 3,000rpm까지 회전이 가능하고 상하 이송이 가능한 스핀들 개발
■ 스핀들 회전에 필요한 박형 모터 개발 및 기판 파지 시스템 개발
■ 다양한 약액을
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