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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포스트마이크로(주) |
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연구책임자 | 이승섭 |
참여연구자 | 전영균 , 조항일 , 이준구 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-05 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 정보통신부 |
사업 관리 기관 | 정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement |
등록번호 | TRKO201000018445 |
과제고유번호 | 1440001827 |
사업명 | 중소기업기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
가. MEMS 기반의 초소형/초정밀 3차원 광학형상 제작 기술 연구개발
(1) 내용
- LIGA 공정, UV 기반의 HAR-MEMS 공정, 방사형 제작공정
(2) 범위
- 10~ 100um 크기의 마이크로렌즈 어레이 스탬퍼 제작
- 마이크로 U-groove, U-groove 스탬퍼 제작
- 혼합패턴 스탬퍼 제작
나 초소형 . /초정밀 3차원 광학형상 기반의 고휘도 광학설계
(1) 내용
- 광 시뮬레이셔과 설계를 통해 구현
(2) 범위
- Patt
a. MEMS based ultra compact & ultra precision 3D optical shape manufacturing method
(1) Contents
- LIGA process, UV based HAR-MEMS process, radial shaped manufacturing process
(2) Range
-Stamper manufacturing of micro lens array with 10~ 100um
- Micro U-groove & manufacturing
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