초록 ▼

가. 연구개발 기술의 개요
플렉서블(flexible)한 지문인식 센서를 구현하기 위해서 금속 기판 위에 poly-Si TFT 제조 공정 기술, 및 구동 회로 설계 기술을 개발함. 개발된 플렉서블 지문 인식센서를 이용하여 지문을 영상파일로 저장할 수 있는 평가용 구동 회로 및 평가용 소프트웨어를 개발한다.
나. 연구개발 목표
(1) Flexible한 금속 기판의 표면 처리 기술 및 buffer 막 개발
(2) Flexible한 금속 기판위에 지문인식 센서용 poly-Si TFT 제조기술 개발
(3) Flex

가. 연구개발 기술의 개요
플렉서블(flexible)한 지문인식 센서를 구현하기 위해서 금속 기판 위에 poly-Si TFT 제조 공정 기술, 및 구동 회로 설계 기술을 개발함. 개발된 플렉서블 지문 인식센서를 이용하여 지문을 영상파일로 저장할 수 있는 평가용 구동 회로 및 평가용 소프트웨어를 개발한다.
나. 연구개발 목표
(1) Flexible한 금속 기판의 표면 처리 기술 및 buffer 막 개발
(2) Flexible한 금속 기판위에 지문인식 센서용 poly-Si TFT 제조기술 개발
(3) Flexible한 금속 기판위에 poly-Si TFT 지문센서backplane 개발
(4) Flexible한 금속 기판위에 지문인식 센서용 poly-Si TFT 구동회로 집적 기술 개발
(5) 지문인식센서 평가용 구동 보드 개발

Abstract ▼

a. Outline of R&D
We developed the fabrication process, design and driving technology of poly-Si TFT on a metal substrate to realize a (flexible) fingerprint senor. We have also developed the software and driving board which can get and save on a computer from the developed fingerprint sensor.

a. Outline of R&D
We developed the fabrication process, design and driving technology of poly-Si TFT on a metal substrate to realize a (flexible) fingerprint senor. We have also developed the software and driving board which can get and save on a computer from the developed fingerprint sensor.
b. Goal of R&D
(1) Development of surface treatment and buffer deposition technology of flexible metal substrate
(2) Development of fabrication technology of poly-Si TFT fingerprint sensor on a flexible metal substrate
(3) Development of poly-Si TFT backplane on a flexible metal substrate for fingerprint sensor.
(4) Development of integration technology of poly-Si TFT driving circuit on a flexible metal substrate for fingerprint sensor.
(5) Development of evaluation driving board of fingerprint sensor.

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 요약문...3
• SUMMARY...5
• 목차...9
• 제 1 장 서 론...12
• 제 1 절 개발 기술의 개요...12
• 1. 기술의 필요성 및 중요성...12
• 가. 기술개발 배경...12
• 나. 기술개발의 필요성 및 중요성...14
• 2. 국내외 기술동향 및 전망분석...16
• 가. 국내외 기술 동향...16
• 나. 관련기술의 전망...20
• 제 2 장 플렉서블 금속 기판 개발...24
• 제 1 절 플렉서블 금속 기판의 표면 처리 기술...24
• 1. 플렉서블 기판의 종류...24
• 2. 플렉서블 금속 기판의 표면 거칠기 및 표면 연마...26
• 3. 플렉서블 금속 기판의 전해연마...30
• 제 2 절 플렉서블 금속 기판의 Buffer막 증착 기술...36
• 1. Buffer 막의 개요 및 필요성...36
• 2. Buffer 막의 증착...38
• 3. Buffer 막의 pin hole 분석...44
• 4. Buffer용 실리콘 산화막의 전류-전압 특성 분석...48
• 제 3 장 플렉서블 금속 기판상의 실리콘 결정화 및 poly-Si TFT 제조 기술...55
• 제 1 절 금속 유도 결정화 및 Poly-Si TFT의 이론...55
• 1. 니켈에 의한 금속 유도 결정화...55
• 가. 핵생성 이론...55
• 나. NiSi2 실리사이드 생성...62
• 다. 실리사이드의 성장...62
• 라. 비정질 실리콘의 결정화...64
• 2. 다결정 실리콘의 전기적 특성...69
• 제 2 절 플렉서블 금속 기판상에 실리콘 결정화...79
• 1. 비정질 실리콘과 Cap layer 증착...79
• 2. 탈수소화 및 Ultra thin Ni 증착...84
• 제 3 절 플렉서블 금속 기판 상에 poly-Si TFT 제작 및 특성 평가...96
• 1. 플렉서블 금속 기판 상에 poly -Si TFT 제작...96
• 2. 플렉서블 금속 기판 상에 poly -Si TFT 의 특성평가...107
• 가. 트랜지스터의 특성 측정 방법...107
• 나. 플렉서블 금속기판위에 제작된 박막 트랜지스터의 전류-전압 특성 평가...114
• 제 4 장 플렉서블 금속 기판상의 poly-Si TFT 에레이 및 회로의 설계 기술...125
• 제 1 절 플렉서블 지문센서의 개요...125
• 제 2 절 플렉서블 지문센서 사용되는 집적회로의 시뮬레이션...128
• 1. 시뮬레이터...128
• 2. Poly-Si TFT의 모델링...129
• 3. Level shifter 시뮬레이션...131
• 4. Gate shift register 시뮬레이션...140
• 5. Data shift register 시뮬레이션...146
• 6. 시뮬레이션을 통한 TFT 특성과 집적회로의 동작특성간의 연관성 분석...150
• 제 5 장 플렉서블 금속 기판상의 TFT 지문 모듈 제작 및 구동 기술...154
• 제 1 절 플렉서블 지문센서의 구동회로 설계 및 제작...154
• 제 2 절 플렉서블 지문센서의 구동...165
• 제 6 장 결론...170
• 제 1 절 기술 개발 결과물...170
• 제 2 절 활용에 대한 건의 및 기대효과...180
• 제 3 절 상용화 계획...182
• 참고문헌...186