초록 ▼

1. 최종목표
Interferometry 기반 단차측정 시스템을 위한 PZT 구동 모듈을 설계 구현하고 간섭에 의해 발생되는 가시도함수를 해석하여 단차 정보를 신뢰성 있게 얻을 수 있는 알고리즘을 개발한다.
- 2nm 이하의 오차를 가지는 PZT 구동 모듈을 설계 구현함과 동시에 저가의 노이즈에 강인한 시스템 개발
- 영상 해석법 및 가시도함수에 대한 적응신호처리 기법을 이용하여 단차 정보를 획득하는 5초 이내에 수행 가능한 알고리즘 개발
2. 개발내용 및 결과
- PZT 구동오차 저감 및 노이즈 영향을

1. 최종목표
Interferometry 기반 단차측정 시스템을 위한 PZT 구동 모듈을 설계 구현하고 간섭에 의해 발생되는 가시도함수를 해석하여 단차 정보를 신뢰성 있게 얻을 수 있는 알고리즘을 개발한다.
- 2nm 이하의 오차를 가지는 PZT 구동 모듈을 설계 구현함과 동시에 저가의 노이즈에 강인한 시스템 개발
- 영상 해석법 및 가시도함수에 대한 적응신호처리 기법을 이용하여 단차 정보를 획득하는 5초 이내에 수행 가능한 알고리즘 개발
2. 개발내용 및 결과
- PZT 구동오차 저감 및 노이즈 영향을 줄이기 위한 PZT 구동 컨트롤 시스템 개발
? PZT 드라이버로 입력되는 아날로그 신호의 노이즈를 제거하기 위한 DAC와 저노이즈 출력 필터 설계
? 목표위치와 센싱된 현재위치의 오차를 줄이기 위한 closed loop control
? 이동 측정 시 발생하는 화질 저하를 줄이기 위한 external trigger를 통한 카메라와의 동기화
- 위상 보정을 이용하는 가시도 함수 해석 기법 구현 및 영상처리 기반 후처리 기법 개발
? 바닥 데이터 자동추출과 least square approximation을 통한 전역 기울어짐 보정
? 형상 경계에 존재하는 bat-wing effect를 제거하기 위한 평탄영역과 경계영역별 후처리 기법개발
- 등고선 이동거리 추정에 기반한 단차 측정을 위한 등고선 추출법 개발
? Canny edge detector와 Snake를 이용한 간섭영상에 대한 신뢰성 높은 등고선 추출 기법 개발
3. 사업성과
○ 기술적 성과
- 노이즈, 외란, 카메라와의 동기화 문제 등으로 발생하는 PZT 구동 오차를 줄이기 위한 컨트롤러 시스템 개발
- 바닥면의 기울어짐 보정과 interferometer에서 발생하는 bat-wing effect를 제거하기 위한 영사 기반 후처리 기법 개발
- 등고선 변위에 기반한 사면 기울어짐 해석을 위한 등고선 추출 기법 개발
○ 경제적 성과
- 개발 기술이 적용된 박막 두께 장비를 통한 TFT-LCD, PDP 등의 제조 공정 개선
- 개발 기술과 기존 기술을 병합한 새로운 타입의 박막 두께 측정 장비로 신규 시장 개척
○ 활용성과 등
- 개발된 기술을 통해 가격대비 성능이 우수한 interferometer 신규 상품 개발
- 개발된 기술을 통해 기존 reflectometer 장비와 결합한 새로운 하이브리드 타입 측정 장비 개발

4. 향후추진계획
- 참여기업 영업부문을 통한 국내외 시장 개척 및 판매 (연간 5억원 이상의 매출 목표)
- 개발된 기술을 토대로 단색광 PSI(Phase Shift Interferometer) 제품 개발

목차 Contents

• 개발결과의견서...1
• 최종보고요약서(초록)...2
• 제 1 장 서론...4
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...5
• 제 1 절 PZT 구동 모듈 개발...5
• 제 2 절 가시도 함수 해석 및 영상처리 기반 후처리 기법 개발...10
• 제 3 절 등고선 이동거리 추정에 기반한 단차측정 기법...16
• 제 3 장 사업성과...22
• 제 1 절 기술적 성과...22
• 제 2 절 경제적 성과...22
• 제 3 절 기타 성과...23
• 제 4 장 결론...23