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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 산학렵력단 HanYang University |
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연구책임자 | 안일신 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-06 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
연구관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201100008531 |
과제고유번호 | 1425046589 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
- 193 nm 노광공정과 이중 patterning 공정 관련 물질의 광 특성을 측정할 수 있는 원자외선 분광 타원 해석기를 개발함
- 측정 속도 (외국산 대비 100배 이상)와 측정 방법에 있어 세계적으로 선도적인 장비 개발
2. 개발내용 및 결과
■ 다중채널 검출기 개발 연구: 일반 1차원 CCD array를 사용은 측정감도는 약 350nm가 한계.
- Backthinned CCD의 도입 연구
- 전체적 감도를 향상시키기 위해서는 분광기 grating 선택 연구
- 검출기용 렌
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