초록 ▼

1. 최종목표
본 과제는 반도체 제조 공정에서 발생한 문제점을 장비 제조업체의 담당자의 핸드폰으로 오류에 관한 메시지를 발송하여 정비 시간을 단축할 수 있는 시스템을 제작한다. 이에 맞춰 공정 상 통합 모니터링을 이용하기 위해서 데이터 수집 과정에서 메시지를 규격화 하는 것을 최종목표로 한다.
2. 개발내용 및 결과
(1) Formatter
Formatter의 역할은 장비에서 전송되는 SECS-II 메시지를 기능별로 분리하여 Equipment Self Description표에 맞게 XML 형식으로 변환해 주는

1. 최종목표
본 과제는 반도체 제조 공정에서 발생한 문제점을 장비 제조업체의 담당자의 핸드폰으로 오류에 관한 메시지를 발송하여 정비 시간을 단축할 수 있는 시스템을 제작한다. 이에 맞춰 공정 상 통합 모니터링을 이용하기 위해서 데이터 수집 과정에서 메시지를 규격화 하는 것을 최종목표로 한다.
2. 개발내용 및 결과
(1) Formatter
Formatter의 역할은 장비에서 전송되는 SECS-II 메시지를 기능별로 분리하여 Equipment Self Description표에 맞게 XML 형식으로 변환해 주는 역할을 한다.
(2) 서버
서버는 Formatter에서 생성된 XML 파일을 서비스 하는 것을 목적으로 한다. 다양한 장비에서 전송되는 데이터를 처리하며, XML을 서비스하기 전 의미 분석 기능을 통해서 XML의 내용을 파악하여 클라이언트에 XML Schema와 같은 별도의 파일이나 DB 링크를 통해서 모니터링 어플리케이션에 제공하게 된다. 예외 상황 발생 시, 장비 제조업체의 엔지니어의 PDA에 바로 호출 메시지를 전송할 수 있는 기능이 포함된다.
(3) 모니터링 어플리케이션
XML 파서를 이용하여, 수집된 데이터의 필터링 혹은 검색을 지원할 수 있는 어플리케이션을 제작한다. 수집된 데이터의 변화를 그래프로 표현할 수 있으며, Logging 지원 등 기존 모니터링 시스템을 벗어나지 않으면서, XML 해석에 관한 기능과 통합 모니터링이라는 주제를 포함한다.
(4) PDA
서버의 호출에 응답이 가능하며 , 자체적으로 XML 파서를 내장하고 있는 별도의 어플리케이션 혹은 Microsoft社의 OS 이용 시 내장된 MSXML.DLL을 이용하여 서버에서 보내주는 XML 문서를 분석해 유지?보수 담당자에게 관련 정보를 보여준다.
3. 사업성과
○ 기술적 성과
(1) 통합된 XML 메시지의 개발
규격화는 모든 장비의 제어메시지/데이터에 대응하는 하나의 통합된 메시지를 작성하는데 목적이 있다. 통합된 메시지는 XML형태의 메시지로써 장비에서 나오는 신호의 합집합이라 할 수 있으며, 각종 장비에서 나오는 수많은 메시지에 대응하는 하나의 규격(Self-description)을 디자인 하고 규격에 맞게 기존 메시지를 변환시킨다. SECS-I이나 HSMS, PLC와 같은 상이한 프로토콜을 사용하여 수신되는 메시지는 Self -description이란 일정한 틀을 통해서 하나의 통합된 형태의 XML 메시지로 변환한다.
(2) 실시간 장비 모니터링 어플리케이션 개발
XML 기반으로 생성된 규격화 된 메시지를 가지고 통합된 모니터링 어플리케이션을 개발하여 반도체 제조 장비 업체나 장비 엔지니어는 사내뿐만 아니라 외부의 컴퓨터 및 PDA로도 실시간으로 모니터링 할 수 있는 시스템을 구축하였다. 이는 오류발생 시에 관리가 용이해 지며, 신속한 대처와 수율성 향상, 모니터링 장치의 단일화로 높은 공정률을 얻을 수 있게 되었다.
○ 경제적 성과
SECS계열 장비 및 PLC 장비에 대한 규격화된 데이터를 만들어 통합 모니터링 시스템을 구축한 이번 과제는 시스템 통합에 따른 비용 감축효과와 다른 분야에서까지의호환성을 극대화 시킬 수 있는 계기를 마련하였다. 또한 오류 발생 시 장비엔지니어가 SMS로 오류 메시지를 수신 받아 외부에서 컴퓨터 또는 PDA로 모니터링하여 신속한 장비 유지?보수를 할 수 있도록 시스템을 구축함으로써 제조 공정 상 발생되는 문제점 등을 파악하여 미연에 재산적, 인적 손해를 방지할 수 있고 각종 재해에 대한 직원들의 안전 보장에도 중요한 역할을 담당을 하게 된다.
○ 활용성과
본 과제는 통합 메시지 형식을 제시하여 일괄적인 관리 및 모니터링이 가능해 졌으며 장비 집약적인 반도체 제조 설비에서의 수많은 메시지들로 인한 부하를 분산 관리하고 모니터링 할 수 있는 기능을 포함하였다. 또한 XML의 사용으로 웹 환경에서 모니터링 결과를 확인할 수 있다. 또한 에러 리포팅 기술은 반도체 장비 제조업체에서 필요로 하는 기술로 제조업체 측면에서는 오류 발생 시 장비엔지니어의 신속한 대처로 시간적인 낭비를 없애고, 장비 적용 공정 역시 가동률을 최대로 끌어올릴 수 있는 계기를 마련하였다.
4. 향후추진계획
장비 및 계측시스템의 데이터 수집에서 처리, 관리의 정형화된 모델링은 단순한 개발차원을 넘어 시스템개발 방법론이라는 큰 부분을 차지하게 될 것이며, 이를 지원하기 위한 부가적인 하드웨어/소프트웨어의 기능이 꼭 필요할 것이다. 따라서 이번 과제에서 시도한 각 계층별 기능 차트가 하나의 축으로 자리 잡고 발전되어질 것이며 테스트 공정의 개별 테스트 된 자료가 엔지니어에 의해 검토되어지고, 이 자료를 통해 칩의 수율향상 및 신규 디바이스의 개발에 기여할 수 있다.

목차 Contents

• 3-1 김우성 교수(주식회사 한백시스템)...1
• I. 조성 금액...1
• II. 과제개발비 집행내역...1
• 개발결과의견서...4
• 최종보고요약서(초록)...5
• 목차...8
• 제 1 장 서론...9
• 제 1 절 기술개발 개요...9
• 제 2 절 기술개발 필요성 및 중요성...10
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...11
• 제 1 절 과제개발 목표...11
• 제 2 절 과제개발 내용...13
• 제 3 절 과제개발 방법...37
• 제 3 장 사업성과...39
• 제 1 절 기술적 측면...39
• 제 2 절 경제적 측면...48
• 제 4 장 결론...50
• 제 1 절 성과활용 및 기대효과...50
• 제 2 절 향후계획...50