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NTIS 바로가기주관연구기관 | 국민대학교 산학협력단 KookMin University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400026727 |
과제고유번호 | 1425076789 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2014-11-17 |
3. 사업성과
◦ 기술적 성과
√ Plasma 식각 공정상에서 Arc(Abnormal Discharge)에 대한 실시간 판별 가능.
√ 20uSec Arc까지 Detection 가능.
→ BARC(Bottom Anti Reflect Coating) Test.
→ ACL (Amorphous Carbon Layer:비정질탄소막) Test.
→ OXIDE(산화막) Test.
√ Abnormal Discharge Detection 가능.
→ 미세 Pattern Arc 이외의 Particle or
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