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디스플레이 검사장비용 블레이드 타입 팁(blade type tip) 제조 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 순천향대학교 산학협력단
연구책임자 김창교
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-12
과제시작연도 2007
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 중소기업기술정보진흥원
등록번호 TRKO201100009117
과제고유번호 1425046084
사업명 산학연 공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

1. 최종목표
정밀하게 가공된 블레이드 타입의 팁 어레이 제작
2. 개발내용 및 결과
- 직각도가 양호한 베릴륨동 기판의 식각법 및 식각 치수에 대한 정밀도 개선
- 니켈 및 금의 강한 접착력을 보이는 도금 코팅법의 개발에 의해 팁 끝단의 탐침 부분에 대한 휘어짐 및 복원력 향상
- 일정한 두께를 갖는 니켈 및 금의 도금 코팅법 개발
- 니켈과 금의 강한 접착력에 의해 25만회 이상의 탐침이 가능한 완제품 생산 가능
3. 사업성과
${\bigcirc}$ 기술적 성과

목차 Contents

  • 개발결과의견서...1
  • 최종보고요약서(초록)...2
  • 제 1 장 서론...4
  • 제 1 절 프로브유니트 및 카드...4
  • 제 2 절 검사장비용 부품 및 소자...6
  • 제 3 절 베릴륨 동...7
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...9
  • 제 1 절 블레이드 타입 팁 제조공정...9
  • 제 2 절 개발 내용 및 방법...12
  • 제 3 장 사업성과...13
  • 제 1 절 블레이드 타입 팁 제작 결과...13
  • 제 2 절 특성 평가...17
  • 제 3 절 공정개선 및 경제적 파급효과...19
  • 제 4 장 결 론...21
  • 제 1 절 개발 현황...21
  • 제 2 절 사업화 계획...21
  • 부 록...23

참고문헌 (25)

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