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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국산업기술대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 조언정 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-06 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100009907 |
과제고유번호 | 1420010079 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
반도체 및 전자 부품 패키지 제조 공정에 있어 전기테스트 공정 중에 접촉단자에 누적되는 오염물질 제거는 기존에는 수작업, 화학습식방식으로 세정 공정을 수행하는데 본 과제를 통해 신기술인 레이저 세정 방법을 사용하여 접촉단자에 누적된 오염물질을 효율적으로 제거할 수 있는 이동용 레이저 청정세정 시스템을 개발한다. 구체적인 개발 기술 및 시스템의 목표는 다음과 같다.
- 반도체 패키지 테스트 장비에 장착된 테스트 소켓의 On-line 세정 공정을 기술을 개발함.
- 레이저 세정 시간을 소켓당 10초 이내
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