초록 ▼

1. 최종목표
?AlN 결정 성장 공정을 안정화하고 최적의 결정 성장 조건을 설정함.
?현재 다결정상의 대형 AlN 결정 성장 기술을 기초로 하여 직경 5mm의 종자결정을 제조함.
?길이 1mm, 직경 5mm의 질화알루미늄 종자 결정 제조 기술을 개발함.
2. 개발내용 및 결과
?AlN 결정성장용 승화법에 의한 결정성장 기술을 적용하고, 최적 성장 조건을 설정하였다.
?2300℃이상의 고온을 얻기 위해 고주파 유도가열(High Frequency Induction Heating) 방식을 채택하였으며,

1. 최종목표
?AlN 결정 성장 공정을 안정화하고 최적의 결정 성장 조건을 설정함.
?현재 다결정상의 대형 AlN 결정 성장 기술을 기초로 하여 직경 5mm의 종자결정을 제조함.
?길이 1mm, 직경 5mm의 질화알루미늄 종자 결정 제조 기술을 개발함.
2. 개발내용 및 결과
?AlN 결정성장용 승화법에 의한 결정성장 기술을 적용하고, 최적 성장 조건을 설정하였다.
?2300℃이상의 고온을 얻기 위해 고주파 유도가열(High Frequency Induction Heating) 방식을 채택하였으며, 이때 피가열체인 도가니의 구조적 변수의 최소화 및 최적의 디자인 설정에 의한 온도 구배설정 기술을 개발하였다.
?이를 기초로 AlN의 단결정 성장을 위한 종자결정을 제조하였으며, 이에 대한 최적 조건을 설정하여, 안정화하였으며, 재현성을 확보함으로서 최적 성장조건임을 확임하였다.
3. 사업성과
○ 기술적 성과
? 국내 최초로 고온의 난용성 AlN 에 대하여 승화법의 결정 성장 공정을 개발하였다.
? AlN 결정의 대형화 기술을 개발하여, 길이 2mm, 직경 25mm이상의 대형의 결정 제조 기술을 확보하였다.
? 다결정상으로 성장된 길이 2mm이상의 대형의 결정 제조 기술 확보함으로서 이를 기초로 종자결정을 제조 가능하며, 또한, 대형의 결정을 얻어낼 수 있는 기술을 개발하였다.
○ 경제적 성과
? 국외의 경우 AlN을 이용한 발광소자의 시장이 확보되고 있으므로, 향후 결정 기판의 가시적인 시장이 형성될 것으로 사료됨.
? 참여기업의 다변화를 목표로 시작한 연구로서, 향후 사업화의 가능성이 크다고 판단됨.
○ 사회적 성과(일자리 창출 등)
? 자외선을 이용한 백색 LED용 기판으로 사용되기 때문에, 이의 응용성이 매우 큼.
? 연구원의 동 기업의 취업 희망과 아울러 고급 기술인력 확보가능성
4. 향후추진계획
○ 기술 분야
? 개발된 대형 AlN 결정 성장 기술을 이용하여 사업화 기술로 전환할 예정.
? 다결정상의 결정을 단결정상으로 확대 성장할 수 있는 종자결정을 개발함.
○ 경제 분야
? 국내 초유의 기술 개발 과제로서, 결정 기판 시장의 국외 진출 가능성이 있음.

목차 Contents

• 개발결과의견서...1
• 최종보고요약서(초록)...2
• 목차...3
• 제출문...4
• 제1장 서론...5
• 제1절 개발의 배경...6
• 제2절 이론적 배경...8
• 제2장 과제개발 내용 및 방법...10
• 제1절 승화법에 의한 AlN 결정 성장...10
• 1. AlN 결정 성장 시스템...10
• 2. 성장 변수...11
• 제2절 종자결정 AlN 단결정...11
• 1. 결정 성장 공정...11
• 2. 최적 성장 조건의 설정...12
• 3. XRD 분석...12
• 제3장 사업 성과...13
• 제1절 기술적 성과...13
• 제2절 경제적 성과...18
• 제4장 결론...19
• 제1절 결론...19
• 제2절 향후 추진 계획...20