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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 이종찬 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-06 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100010216 |
과제고유번호 | 1425059871 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 기술개발의 목표
◎ 본 기술개발과제에서 개발하고자 하는 일체형 GDP(Gas Distributing Plate) Assembly는 Silicon소재의 특성상 전기적 특성 및 경도 및 취성이 큰 재료로써 소재의 전기적 특성을 안정화 시키고, 제품의 Clean 생산 공정기술을 획득하며, 가공 시 Crack 및 Chipping이 발생하기 쉬우므로 기계가공, 연삭 및 소구경 드릴링 가공 조건에 대해서 이론 및 실험적으로 규명함으로서 난삭재 가공에 대한 생산기술을 확보하여 차세대 나노 반도체 공정용 12″일체형 GDP(Gas Di
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