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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 노승훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100010463 |
과제고유번호 | 1425057965 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
?웨이퍼 대구경화(Ø300mm → 450mm) 추세에 따른 웨이퍼 가공 전용기 수요에 대응
? 장비 설계 및 제조 원천기술 확보, 장비 수입 억제 및 수출효과
?대구경화에 따른 진동제어(300mm → 450mm로 대구경화 시 진동 2배 이상 증가)
? 장비 진동 억제를 통한 웨이퍼 표면 품질 확보 및 대구경화에 따른 생산성 및 부가가치 제고
?설비 단가 절감
2. 개발내용 및 결과
?메인 스핀들부와 가공부의 분리 설계로 진동차단(시뮬레이션 및 실험을 통한 효과 확인, 특허출원)
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