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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)원익큐엔씨 |
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연구책임자 | 김범섭 |
참여연구자 | 송인혁 , 박상환 , 김득중 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-10 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007265 |
과제고유번호 | 1415152621 |
사업명 | 산업소재핵심기술개발 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 진공 척.탄화규소 세라믹.알루미나 세라믹.저항 제어.기공 크기.기공률. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
O 저항제어가 가능하고 통기도를 최적화 할 수 있는 진공척용 고강도 다공질 알루미나/탄화규소 소재 기술 개발
- 진공척용 고강도 다공질 알루미나 소재
기공률 : ≥ 50 %, 기공 크기: ≤ 5 um
표면 저항 : ≤ 1011 Ω·cm, 꺾임강도 : ≥ 50 MPa
- 진공척용 고강도 다공질 탄화규소 소재
기공률 : ≥ 45 %, 기공 크기: ≤ 5 um
표면 저항 : ≥ 106 Ω·cm, 꺾임강도 : ≥ 55 MPa<
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