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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 윤의준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100011772 |
과제고유번호 | 1425052260 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
기판 곡률 측정에서 핵심으로 사용하는 다중 레이저 광속 광원을 새로운 방식인 수직공진표면발광 레이저 다이오드 어레이를 이용한 다중광속 모듈을 개발하는 것이다. 이것은 단일 광원 레이저 빔을 광학적 수단을 통해 다중 광속으로 분할하는 방식의 기존 타 경쟁사의 기판 곡률 및 박막 응력 측정 기술 특허를 피할 수 있게 할 것으로 기대 된다. 또한 반도체 박막 공정에서 실시간으로 박막의 응력 변화를 정밀하게 (곡률 측정 분해능: 0.11/Km, 즉 10 Km의 기판 곡률 반경측정분해능) 측정할 수 있는 VCSEL arr
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