초록 ▼

1.최종목표
○승화법의 결정 성장 공정을 안정화하고 최적의 결정 성장 조건을 설정한다.
○대형화 기술을 개발하여, 길이 5mm, 직경 15mm 이상의 대형 질화알루미늄 결정을 제조함.
2. 개발내용 및 결과
○승화법에 의한 결정 성장 기술을 적용하고, 최적 성장 조건을 설정한다.
○고주파 유도가열(High Frequency Induction Heating) 방식에 있어 피가열체인 도가니의 구조적 변수의 최소화 및 최적의 디자인 설정에 의한 온도 구배설정 기술 적용.
○AlN의 단결정 성장 최적 조건을

1.최종목표
○승화법의 결정 성장 공정을 안정화하고 최적의 결정 성장 조건을 설정한다.
○대형화 기술을 개발하여, 길이 5mm, 직경 15mm 이상의 대형 질화알루미늄 결정을 제조함.
2. 개발내용 및 결과
○승화법에 의한 결정 성장 기술을 적용하고, 최적 성장 조건을 설정한다.
○고주파 유도가열(High Frequency Induction Heating) 방식에 있어 피가열체인 도가니의 구조적 변수의 최소화 및 최적의 디자인 설정에 의한 온도 구배설정 기술 적용.
○AlN의 단결정 성장 최적 조건을 설정하였으며, 재현성을 확보함.
3. 사업성과
○ 기술적 성과
· 승화법의 결정 성장 공정을 안정화하고 최적의 결정 성장 조건을 설정하였음.
· 대형화 기술을 개발하여, 길이 2mm, 직경 15mm이상의 대형 결정 제조 기술 확보함.
· 다결정상으로 성장된 길이 2mm이상의 대형 결정 제조 기술 확보함.
○ 경제적 성과
· 아직 경제성을 고려할 수 없으나, 향후 가시적인 결과가 도출될 것으로 사료됨.
· 기업의 다변화를 목표로 부가가치가 높은 광소재 분야의 핵심 소재 개발을 시도함.
○ 활용성과 등
· 백색 LED용 기판용으로 사용할 수 있는 가능성 확보함으로서, 국산화 가능함
· 현재 백색 LED용 기판 소재로 활용되면, 효율, 수명, 휘도등 우수한 LED 제조가 가능함
4. 향후추진계획
○ 기술 분야
· 최적의 결정 성장 조건을 설정하고, 대형 AlN 결정 성장 기술을 개발함.
· 다결정상의 결정을 단결정상으로 확대 성장할 수 있는 종자결정을 개발함.
○ 경제 분야
· 국내 초유의 기술 개발 과제로서, 향후 국내 및 해외 시장 진출 가능성이 매우 큼

목차 Contents

• 최종보고요약서(초록)...1
• 목차...2
• 제출문...3
• 제 1 장 서론...4
• 제 1 절 개발의 배경...5
• 제 2 절 이론적 배경...6
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...7
• 제 1 절 승화법에 의한 결정 성장...7
• 1. 성장 시스템...7
• 2. 성장 변수...8
• 제 2 절 AlN 단결정의 대형화...8
• 1. 결정 성장 공정...8
• 2. 최적 성장 조건의 설정...8
• 3. XRD 분석...9
• 제 3 장 사업 성과...10
• 제 1 절 AlN 단결정 성장...10
• 제 4 장 결론...13
• 제 1 절 결론...13
• 제 2 절 향후 추진 계획...13