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NTIS 바로가기주관연구기관 | 동의대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 이원재 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-04 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100012184 |
과제고유번호 | 1425053080 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
2. 개발내용 및 결과
ㅇ 고품질 SiC 단결정 성장을 위한 최적화된 성장 조건 변경 및 확립
- 원료의 온도와 계 내의 온도구배 및 압력과 같은 공정 조건 확립을 통한 결정질 향상.
=> 성장계 내의 불활성 가스가 원료의 수송 과정을 제어
ex) Gas flow에 따른 성장률 변화, 압력에 따른 결정질 변화 등
- 도가니 내ㆍ외부 구조 변경을 통한 고수율/고품질 탄화규소 단결정 성장.
=> 고주파 코일과 흑연 도가니의 구조 변화에 따라 도가니 내의 온도 분포를 제어
ex)
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