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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아이브이웍스 IVWorks Co., Ltd. |
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연구책임자 | 노영균 |
참여연구자 | 서광석 , 김문덕 , 최성순 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-12 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007434 |
과제고유번호 | 1415158294 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-09-10 |
키워드 | Power device.GaN.Silicon. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
• 전압 200V, 600V급 범용 전력소자용 8인치 GaN on Si 에피웨이퍼 시제품 개발 및 신뢰성 테스트를 통한 사업화
• 전압 600V급 High-Power 전력소자용 4인치 GaN on SiC 에피웨이퍼 시제품 개발 및 신뢰성 테스트를 통한 사업화
• 4인치 GaN on Diamond 에피웨이퍼 기술 검토
□ 개발내용 및 결과
• 8인치(Multi-4인치 겸용) Hybrid-MBE 시스템 구축
- 대구경 적용을 위해 해외 유휴장비 마켓과
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