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[국가R&D연구보고서] 노치형 웨이퍼 정렬기 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 남서울대학교
NamSeoul University
연구책임자 나원식
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-12
과제시작연도 2007
주관부처 중소기업청
연구관리전문기관 중소기업기술정보진흥원
Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs
등록번호 TRKO201100012204
과제고유번호 1425046943
사업명 산학연 공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

1. 최종목표
현재 전량 수입에 의존하고 있는 Nofch형 Wafer 정렬기를 국산화로 자체 기술을 확보하여, Wafer Size 변화에 대한 능동적 대응 및 제조 기술을 발전 시켜 미국, EU 등의 Notch형 Wafer 정렬기 사용국에 역수출.
2. 개발내용 및 결과
- Silicon 재질의 Roller 기구 장치를 개발하여, Wafer 회전 시 미끄럼 방지 및 Particle를 최소화
- Notch형 Wafer 회전용 Step-Motor 회로 설계 및 알고리즘 개발
- Wafer 생산 설비 업체에 실

목차 Contents

  • 3. 과제별 세부 집행내역...1
  • I. 조성 금액...1
  • II. 과제개발비 집행내역...1
  • 개발결과의견서...4
  • 시제품 관련 사진 첨부...6
  • 최종보고요약서(초록)...8
  • 목차...10
  • 제 1 장 서 론...11
  • 제 1 절 연구의 목적...11
  • 제 2 절 국내·외 관련 기술 현황...11
  • 제 3 절 국내·외 시장 규모...12
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...13
  • 제 1 절 기술 개발 목표...13
  • 제 2 절 개발 내용 및 범위...13
  • 제 3 절 기술 개발 제품의 평가항목...16
  • 제 3 장 사업 성과...17
  • 제 1 절 기술적 성과...17
  • 제 2 절 경제적 성과...17
  • 제 3 절 기타 성과...17
  • 제 4 장 결 론...19
  • 제 1 절 기술 개발 제품...19
  • 제 2 절 향후 추진 계획...20

참고문헌 (25)

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