초록

웨이퍼 노치의 위치를 효율적으로 추정하기 위한 노치 검출 방법 및 모듈이 제공된다.웨이퍼의 지정된 영역(들)의 이미지를 캡처하며, 캡처된 이미지의, 극 좌표로 전환되는, 변환에서의 으뜸각이 식별된다.그 다음, 캡처된 영역에서의 기하학적 프리미티브의 우세 배향으로서 웨이퍼 축이 식별된 으뜸각으로부터 복구된다.캡처된 영역은 축의 식별 및 복구를 강화하는 특정 패턴 및/또는 웨이퍼의 중심을 포함하도록 선택될 수 있다.이미지 품질 및 검출 효율을 최적화하도록 복수의 이미지 및/또는 영역이 사용될 수 있다.

대표청구항 ▼

웨이퍼 노치 검출 방법에 있어서, 이미징 디바이스를 이용해, 웨이퍼의 적어도 하나의 지정된 영역의 이미지를 캡처하는 단계;하나 이상의 프로세서를 이용해, 상기 이미지의 변환(transformation)을 수행하는 단계;상기 이미지의 변환을 극 좌표로 전환하는(convert) 단계; 및상기 이미징 디바이스의 시야에서 기하학적 프리미티브(geometric primitives)의 배향에 기초하여 노치의 복수의 후보 위치들을 결정하는 단계를 포함하는, 스트리트(street) 배향 절차를 수행하는 단계; 및하나 이상의 프로세서를 이용해, 상

웨이퍼 노치 검출 방법에 있어서, 이미징 디바이스를 이용해, 웨이퍼의 적어도 하나의 지정된 영역의 이미지를 캡처하는 단계;하나 이상의 프로세서를 이용해, 상기 이미지의 변환(transformation)을 수행하는 단계;상기 이미지의 변환을 극 좌표로 전환하는(convert) 단계; 및상기 이미징 디바이스의 시야에서 기하학적 프리미티브(geometric primitives)의 배향에 기초하여 노치의 복수의 후보 위치들을 결정하는 단계를 포함하는, 스트리트(street) 배향 절차를 수행하는 단계; 및하나 이상의 프로세서를 이용해, 상기 복수의 후보 위치들 중의 적어도 일부에 대해 하나 이상의 노치 패턴 검색(search)을 수행함으로써 상기 노치의 위치를 식별하는 단계를 포함하는, 웨이퍼 노치 검출 방법.