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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경민대학 |
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연구책임자 | 정운철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-04 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 산학연전국협의회 |
등록번호 | TRKO201100012338 |
과제고유번호 | 1425052122 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
가. 챔버 각각의 독립적인 풍량 및 정압을 제어할 수 있는 시스템을 개발한다.
나. 챔버 각각의 독립적인 누설계통을 갖도록 시스템을 개발한다.
다. 각 챔버를 독립적으로 제어하기 위한 컨트롤러를 개발한다.
라. 챔버의 설치 및 이설이 용이하도록 소규모 집중 청정 장치를 설계하여 개발한다.
마. 각 챔버의 전동기가 각각 독립적으로 가변속 제어되도록 하드웨어와 소프트웨어를 개발한다.
2. 개발내용 및 결과
최근 반도체, 전자, 의약 , 식품가공 등 초정밀, 고청정이 요구되는 첨단 산업
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