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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기기유화시험연구원 |
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연구책임자 | 권영문 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-02 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100012686 |
과제고유번호 | 1420022546 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
o 본 기술개발에서는 반도체 장비에 필수적인 진공 장비용 사각 게이트 밸브 핵심부품의 형상 개선을 통하여 밸브성능(누설율, 압력범위, 탈기체 및 개폐수명)을 향상시키고자 한다. 또한 VAT, V-tex, IKC, SMC 등 해외주요 밸브 업체들의 게이트 밸브 장
2. 개발내용 및 결과
o 반도체 장비용 2인치
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