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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)와이케이티 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500018996 |
과제고유번호 | 1425080373 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-10 |
키워드 | 진공체임버.능동압력제어.버터플라이밸브.반도체제조장비.화학기상증착. |
□ 개발목표
▪ 계획
- 진공 체임버 압력제어용 밸브의 기구 및 능동형 제어기 상품화 개발
▪ 실적
1. 진공 체임버 압력제어용 밸브의 기구 설계
2. 능동형 제어기 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Open-close time : 계획(0.25 [sec]), 실적(0.20 [sec])
2. 1st Set point time : 계획(< 5 [sec]), 실적(평균 4 [sec])
3. Leak rate : 계획(1 x 10-9 [std cc/sec He]), 실적(1
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