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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 문준희 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100012805 |
과제고유번호 | 1425052942 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
1) 고분해능 디지털 모아레 광학계 개발
고분해능 흑백카메라와 디지털 프로젝션 시스템으로 구성
2) 초정밀측정을 위한 반복정밀도
a. 정적인 반복정밀도 3σ =1.2μm b. 동적인 반복정밀도 3σ =2.5μm
c. 측정 시간 3.2초
이를 위해 고분해능 광학계 개발과 반복도 향상 기술을 개발한다.
3) 3600개의 범프를 3.2초 이내에 측정하기 위하여, 다음과 같은 알고리즘을 개발한다.
(1) 기준면을 이용한 위상정렬 알고리즘 개발
(2) 멀티 코어 알고리즘 개발
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