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NTIS 바로가기주관연구기관 | 안산공과대학 |
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연구책임자 | 정태호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-12 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100013076 |
과제고유번호 | 1425045733 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
· Coverlay Film의 기술적 대체
·가접/Hot Press 공정 라인의 제외
·Pitch 40㎛이하의 Coverlay로 활용, 굴곡성 30만회, 내열성 250℃
·자동화 공정을 통한 생산성 향상, 가격 절감효과
·양산 공정 Process 확립
2. 개발내용 및 결과
· 개발내용
- 기판상에 형성된 Polyimide 계 수지막에 Dry Film 등의 감광액막을 구성하여 각 감광액 막의 일부를 마스크로 작용하게 하여 Etching시에 Polyimide 수지 부분을 선택적
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