초록 ▼

1. 최종목표
본 개발의 목표는 초고속 측정과 고정밀 측정을 동시에 달성하는 것이다.
개발목표는 다음과 같은 사양으로 설명된다.
-매회 측정영역: 2.4*1.8mm -매회 측정 시간: 0.35초
-측정 수직분해능: 0.1㎛ -측정 반복도: 0.3㎛
2. 개발내용 및 결과
- 원형가이드와 광학계를 이용한 유니버설 스테이지 시스템 설계 및 구축
- 초고속 측정시스템 및 알고리즘 구현
- 고정밀 시스템 및 알고리즘 구현
3. 사업성과
○ 기술적 성과
- 최적의 시스템 구축을 위

1. 최종목표
본 개발의 목표는 초고속 측정과 고정밀 측정을 동시에 달성하는 것이다.
개발목표는 다음과 같은 사양으로 설명된다.
-매회 측정영역: 2.4*1.8mm -매회 측정 시간: 0.35초
-측정 수직분해능: 0.1㎛ -측정 반복도: 0.3㎛
2. 개발내용 및 결과
- 원형가이드와 광학계를 이용한 유니버설 스테이지 시스템 설계 및 구축
- 초고속 측정시스템 및 알고리즘 구현
- 고정밀 시스템 및 알고리즘 구현
3. 사업성과
○ 기술적 성과
- 최적의 시스템 구축을 위해 유니벌설 스테이지 시스템 설계 및 구축
- 고속흑백카메라와 고성능 컴퓨터 등 하드웨어를 통해 고속측정기술확보 인텔 멀티코어 기술을 이용해 이미지 처리시간이즈 필터링 최소화 구현.
고속 실시간 위상정렬 알고리즘 구현.
- 고정밀 알고리즘 확보
○ 경제적 성과
본 과제를 통해 웨이프범프 측정시스템을 구축하였으며 초고속 고정밀 알고리즘을 구현하였다. 국내 대개업과 데모를 통해 기술력에 대한 높은 평가를 받았으며앞으로의 시장전망을 밝게 하였다. 측정시스템의 원가도 경쟁사의 절반으로 줄였다.
○ 활용성과 등
에스엔유 프리시젼의 데모장비로 활용됨.
4. 향후추진계획

목차 Contents

• 최종보고요약서(초록) ...1
• 목 차 ...3
• 제 1 장 서론 ...4
• 제 1 절 과제의 필요성 ...4
• 제 2 절 과제의 배경 ...5
• 제 3 절 과제의 목표 ...6
• 제 2 장 개발 내용 및 방법 ...6
• 제 1 절 광학 측정시스템 개발 ...6
• 제 2 절 초고속 측정 알고리즘 개발 ...7
• 제 3 절 고정밀 측정 알고리즘 개발 ...9
• 제 3 장 사업성과 ...12
• 제 1 절 기술적 성과 ...12
• 제 2 절 경제적 성과 ...13
• 제 4 장 향후 계획 ...13