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NTIS 바로가기주관연구기관 | 공주대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 김승겸 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-12 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100013297 |
과제고유번호 | 1425046033 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
접촉식 센서에 의한 두께 측정이 가능한 측정시스템으로 LCD 글라스용 식각용액 관리 및 제어용을 위한 계측과 검사장비로서, 컴퓨터에 의해 측정 데이터가 저장되고 그래픽 처리 되어 결과치에 대해 판단이 가능한 조건을 만족시키는 글라스두께측정시스템을 제작하는 것이 목표이다.
2. 개발내용 및 결과
수μm 오차의 두께 측정이 가능한 접촉식 센서를 사용하였고, 최대 590mmX670mm LCD 글라스의 두께 측정이 가능한 스테이지 제작하였으며, 12point/장 측정이 가능한 시스템을 개발하였다. 측정 소프트
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