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NTIS 바로가기주관연구기관 | 엠엠테크 |
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연구책임자 | 장승일 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-01 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039461 |
과제고유번호 | 1415139842 |
사업명 | 제조기반산업핵심기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 초박형.대면적.식각액.표면분석.FPD.Slimming. |
□ 핵심기술
상, 하 유리기판을 합쳐 제조된 약 1mm의 디스플레이 기판의 초박형 슬리밍 기술(chemical 방식)에 대한 기술개발
□ 최종목표
o 고부가가치 0.2mm급 초슬림 FPD용 Panel Slimming 공정기술 및 장비 개발
: 초슬리밍 생산기반 분사기술 및 반송 Jig 개발
: 초슬리밍 생산기반 세정/건조/반송 시스템 개발
o 고균일 식각을 위한 친환경 비불산 Etchant 개발
: 초슬림 균일 식각 및 슬러지 제어가 가능한 비불산 약액 개발
: Waveness 발생
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