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[국가R&D연구보고서] 주파수 천이 기법의 플라즈마 표면 처리 시스템 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 금오공과대학교
Kumoh National Institute of Technology
연구책임자 최한고
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-12
과제시작연도 2007
주관부처 중소기업청
과제관리전문기관 중소기업기술정보진흥원
Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs
등록번호 TRKO201100013406
과제고유번호 1425046815
사업명 산학연 공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록

1. 최종목표
주파수 천이 기법을 활용하여 기존의 플라즈마 문제점을 개선하고 다양한 산업현장에 적용할 수 있는 표면처리 시스템을 개발한다.
(1) 기술개발 목표
■ 공진 주파수를 사용한 주파수 천이방식 기술 개발
■ DSP를 사용하여 고효율 및 저중량을 위한 전력전자 제어기술 개발
■ 정 출력 제어를 위한 플라즈마 제어기술 개발
(2) 장치개발 목표
■ 외부 노이즈 차폐용 전원 회로부 설계 및 제작
■ 구동 컨버터 회로부 설계 및 제작
■ 고주파 스위칭 회로 설계 및 제작
■ 고

목차 Contents

  • 3. 과제별 세부 집행내역 ...1
  • 개발결과의견서 ...3
  • 최종보고요약서(초록) ...4
  • 목차 ...7
  • 제 1 장 서론 ...8
  • 1-1 시장 현황 ...8
  • 1-2 기술 현황 ...9
  • 1-3 기존 플라즈마 제어의 문제점 ...10
  • 1-4 개발 요구 사항 ...11
  • 1-5 기술적 검토 ...12
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법 ...14
  • 2-1 개발내용 및 범위(시스템 구성도, 구조 등은 그림으로 표현) ...15
  • 제 3 장 개발 상세 내용 ...26
  • 3-1 Software 설계 구현 ...26
  • 3-2 주파수 천이방법 ...33
  • 3-3 Hardware 설계 구현 ...34
  • 제 4 장 제어방법에 의한 실험과 검증 ...47
  • 4-1 표면처리 반응효과 ...47
  • 4-2 실험 및 검증 ...49
  • 제 5 장 결론 ...54
  • 5-1 기술적 성과 ...54
  • 5-2 경제적 성과 ...55
  • 5-3 결론 ...56
  • 5-4 향후 계획 ...57

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참고문헌 (25)

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