최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기기유화시험연구원 |
---|---|
연구책임자 | 정용안 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-05 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201100013846 |
과제고유번호 | 1425058439 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
박막 태양전지 투명전도산화막(ZnO:Al) 증착용 고효율 원통형 Sputtering Cathode 개발 및 고속증착 공정기술개발
* ZnO:Al 투명전도산화막 증착용 고효율 원통형 Sputtering Cathode개발
* ZnO:Al 투명전도산화막 고속증착 공정기술 개발
2. 개발내용 및 결과
- 상세 마스터플랜 작성 : 자료조사 및 현황 파악 등
- 상세 Specification 도출 : 관련업계 요구 세부 Spec 검토
- 프로토타입 원통형 Sputtering Cathode 제
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.