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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 최원국 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-05 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100014157 |
과제고유번호 | 1425058431 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
- 터치폰 윈도우용 primer-산화물 박막층간의 접착력 증대를 위한 저에너지 ( <300 eV) 이온빔을 이용한 대면적 표면처리 공정 기술 개발
2. 개발내용 및 결과
- Primer(M58)/color 박막층(TiO2, SiO2 등) 밀착력 증대 공정개발
(산소이온빔 (에너지:300 eV 미만) + Ar etching 연속공정)
(표면 에너지 : 78 erg/cm, 접촉각 10 도 미만)
- 반응성가스 사용 가능한 non-filament End Hall 이온원 개발
- 대면적
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