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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 화학공학과 |
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연구책임자 | 이정호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100014734 |
과제고유번호 | 1425066162 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
1) 실리콘 나노와이어 제작
= 실리콘 나노와이어 구조 제작은 electroless etching 기법을 사용하며, KOH etching을 통하여 taper한 나노와이어를 얻을 수 있음.
= Etching 공정 제어를 통한 고밀도의 실리콘 나노와이어를 얻는 것이 목표임.
- Diameter : 100 ∼ 200nm
- length : 3 ∼ 4㎛
2) PE-CVD를 이용한 uniform한 p-i-n 실리콘 layer 증착
= 고효율의 박막형 태양전지를 제작하기 위하여 uniform
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