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NTIS 바로가기주관연구기관 | 호서대학교 Hoseo University |
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연구책임자 | 김수희 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-07 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100014935 |
과제고유번호 | 1425059047 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
이 연구에서 개발하고자 하는 기술은 반도체 생산 공정 모니터링을 위한 초소형 저가의 마이크로프로세스(AT91SAM7X512 MCU)를 사용한 HSMS 통신 모듈을 개발함으로써 반도체 공정의 Track In 과 Track Out을 실시간적으로 모니터링할 수 있는 것이 목표이다.
2. 개발내용 및 결과
1. AT91SAM7X512 MCU Board 회로 및 PCB Artwork 설계
1) AT91SAM7X512 MCU를 이용한 HSMS 통신 처리 모듈 개발
2) Free RTOS를 탑재한 실
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