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수소가스 원격 검출용 표면 음향파(SAW)센서 시작품 제작 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 부경대학교 산학협력단
연구책임자 윤종락
참여연구자 박규칠 , 김종욱
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-06
과제시작연도 2010
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 한국산업기술평가관리원 (중기청)
등록번호 TRKO201100015046
과제고유번호 1425065363
사업명 산학연공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록

1. 최종목표
1) 수소 가스 검출용 표면음향파 센서 시작품 제작
2) 상온에서 4% 이하 수소 농도 검출
3) 반응시간 5초 이하에서 수소 가스 검출
4) 수소 가스 검출용 표면 음향파 센서의 설계사양 제시
2. 개발내용 및 결과
1) 수소 가스 검출용 표면음향파 센서 시작품 제작
2) 상온에서 2%, 3%, 4%, 5% 수소 농도 검출
3) 입출력 IDT 사이의 팔라듐 박막특성에 따른 표면음향파 특성해석
4) 수소 가스 유무에 따른 팔라듐 박막 전기/음향적 특성 변화해석
5)

목차 Contents

  • 표지 ...1
  • 최종보고서 제출서 ...2
  • 간접비 집행내역 ...3
  • 사업비 사용실적 보고서 ...5
  • 개발결과의견서 ...8
  • 최종보고요약서(초록) ...9
  • 목차 ...11
  • 제1장 서론 ...13
  • 제1절 기술개발의 개요 ...13
  • 1.1 수소 가스 검출용 표면 음향파 센서 ...13
  • 1.2 기술개발의 필요성 및 중요성 ...14
  • 1.3 국내.외 관련 기술의 현황 ...14
  • 제2절 기술개발의 목표 및 범위 ...15
  • 2.1 개발목표 ...15
  • 2.2 개발내용 및 범위 ...16
  • 제2장 기술개발 내용 및 방법 ...17
  • 제1절 기술개발 내용 ...17
  • 1.1 기술개발 내용 요약 ...17
  • 1.2 표면음향파 센서 기본원리 ...17
  • 1.3 표면음향파 센서 설계 ...18
  • 제2절 기술개발 방법 ...21
  • 2.1 주관 연구기관과 참여 기업의 기술개발 범위 ...21
  • 2.1.1 주관연구기관 및 참여기업의 연구인력 및 기자재 활용 ...21
  • 2.1.2 기술개발 조직 운영체계 ...22
  • 2.2 수치모의 실험 ...22
  • 2.2.1 TLM 모델링 ...22
  • 2.2.2 등가회로 모델링 ...26
  • 2.2.3 수소 가스 검출용 표면음향파 센서의 TLM 모델링 ...27
  • 2.3 시작품 제작 및 실험 결과 ...34
  • 2.3.1 압전체 기판 제작 ...34
  • 2.3.2 표면음향파 센서 형상 제작 ...38
  • 2.3.3 팔라듐 증착 ...38
  • 2.3.4 측정 및 분석 장치 ...40
  • 제3절 기술개발 추진일정별 계획대비 실적 ...45
  • 제3장 사업성과 ...46
  • 제1절 기술적 성과 ...46
  • 1.1 기술개발의 기술적 성과 ...46
  • 1.2 기타 기술적 성과 ...49
  • 제2절 경제적 성과 ...49
  • 2.1 미래의 수소 가스 산업 핵심 기술 ...49
  • 2.2 무공해 수소 에너지 산업의 국내 발전 및 국제경쟁력에 기여 ...49
  • 제4장 결론 ...50
  • 제1절 성과 활용 및 기대효과 ...50
  • 제2절 향후 계획 ...51
  • 참고문헌 ...52

표/그림 (54)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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