초록 ▼

1. 최종목표
320×240 어레이의 비냉각형 적외선 센서를 개발하는 테 있어서, 응답적외선 파장 8-12㎛, 센서 크기 50㎛×50㎛ 이하, 열해상도 O.1K 이하, 응답속도 10msec 이하, 응답도 30,000 V/W 이상, 검출도 1×$10^9 cmHz^{1/2}$/W 이상, 필팩터 80% 이상의 고흡수율 비냉각형 적외선 센서 기술 개발하는 것임.
2. 개발내용 및 결과
. 8×8 TiOx 볼로미터 개발 (오카스 설계, Mikromasch사 제작)
. 온도 분해능 12K 의 성능 측정

1. 최종목표
320×240 어레이의 비냉각형 적외선 센서를 개발하는 테 있어서, 응답적외선 파장 8-12㎛, 센서 크기 50㎛×50㎛ 이하, 열해상도 O.1K 이하, 응답속도 10msec 이하, 응답도 30,000 V/W 이상, 검출도 1×$10^9 cmHz^{1/2}$/W 이상, 필팩터 80% 이상의 고흡수율 비냉각형 적외선 센서 기술 개발하는 것임.
2. 개발내용 및 결과
. 8×8 TiOx 볼로미터 개발 (오카스 설계, Mikromasch사 제작)
. 온도 분해능 12K 의 성능 측정
. 360x280 비정질 실리콘형 볼로미터 기술 개발 (오카스 설계, 국내 파운드리제작)
. 응답 적외선 파장 7-14㎛, 센서 크기 46㎛×46㎛, 열해상도 0.106K, 응답시간 2.5msec(열시상수), 응답도 214,545 V/W, 검출도 1.18×$10^8 cmHz^{1/2}$/W (30Hz)
. 펄팩터 80% 의 볼로미터 기술 개발
3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
고흡수 공명 흡수 박막 구조, blind ceIl 개념, NETD 모델링은 국내에서 개발이 안된 세계적 수준이다. 본 제품은 국내에서 개발이 안 되었고 응용 분야가 다양함. 시장 세분화를 통하여 각 시장별 마케팅을 진행해나갈 때 비냉각형 시장은 그 고유의 시장 뿐만 아니라 기존 냉각형 시장 등을 정차적으로 점유할 것이다.
4. 적용분야
8×8 어레이형 센서 뿐만 아니라 16×16, 160×120, 360×280 보안감시, 누수 탐지, 의료용 체열 진단기, 전선 결함검사, 군수, 소방, 비접촉식 온도 측정 용 풍을 활용가능하다.

목차 Contents

• 산업기술개발사업 최종보고서 제출서 ... 2
• 최종보고서제출서 ... 4
• 제출문 ... 6
• 산업기술개발사업 보고서 초록 ... 8
• 목차 ... 9
• 제 1 장 서론 ... 12
• 제 1 절 기술의 개요 ... 12
• 제 2 절 기술 개발 동향 ... 33
• 제 3 절 고흡수율 비냉각형 적외선 센서 기술의 개요 ... 47
• 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 56
• 제 1 절 기술 개발 실적 ... 56
• 제 2 절 8x8 어레이형 TiOx 비냉각형 적외선 센서 개발 ... 58
• 제 3 절 360x280 어레이형 a-Si 비냉각형 적외선 센서 개발 ... 60
• 제 3 장 결과 ... 70
• 제 1 절 기초 실험 및 모의실험 ... 70
• 제 2 절 레이아웃 및 센서 제작 ... 87
• 제 3 절 측정 결과 ... 94
• 제 4 절 향후 계획 ... 98
• 제 4 장 위탁 과제(한국기ㅣ초과학지원연구원 위탁과제) ... 100
• 제 1 절 8x8 적외선 센서에 대한 분석 및 고찰(1차년도) ... 100
• 제 2 절 비정질 실리콘형 적외선 센서의 저항 특성 분석 (2차년도) ... 105
• 제 5 장 결론 ... 115
• 참고문헌 ... 117