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NTIS 바로가기연구책임자 | 권민철 |
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참여연구자 | 황정모 , 윤영욱 , 황윤식 , 연선웅 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-11 |
과제시작연도 | 2005 |
주관부처 | 산업자원부 |
등록번호 | TRKO201200001586 |
과제고유번호 | 1410057484 |
사업명 | 4개시도전략산업육성2단계 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | Ion source.RF ion source.Plasma beam.Optical coating.Optical thin film. |
1. 최종목표
기존의 전자빔 증발원을 대치할 새로운 플라즈마 빔 증발원을 개발하여 본사의 주력 생산품인 다층박막 코팅장비에 장착함으로써 차세대 고기능 광학박막 제작이 가능한 증착 시스템을 구축하고자 한다.
2. 개발내용 및 결과
광학박막 증착을 위한 고밀도 Plasma Beam Source module을 설계ㆍ제작하였으며 제작된 module의 성능 진단을 위한 test 시스템을 구축하여 여러 가지 증착 변수에 따른 성능 조사를 실시하였다. 실험 결과 광학박막 증착에 적합한 Plasma Beam Source를 개발하였
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