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연합인증

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반도체 제조공정용 다공구조 8인치 Dummy Wafer의 신뢰성기술지원 및 시험평가를 통한 신뢰성 향상 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 이엔씨
연구책임자 엄익한
참여연구자 강승동 , 송재헌
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-05
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200003742
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 더미웨이퍼.다공구조.8인치.반도체 제조공정용.신뢰성.

초록

o 국내 수입대체 및 신규 시장 창출
o 내수 및 수출 시장 확대를 위한 Marketing 자료로 활용
o 품질 비용 절감을 통한 원가 절감으로 가격 경쟁력 확보
o 품질안정을 기반으로 한 생산성 향상

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 부품ㆍ소재신뢰성기반기술확산사업 보고서 초록 ... 3
  • 목차 ... 4
  • 제 1장 사업의 개요 ... 5
  • 제 1 절 제품의 정의 및 응용 ... 5
  • 제 2 절 사업의 목표 및 평가항목 ... 7
  • 제 3 절 사업의 필요성 ... 8
  • 제 4 절 기술내용 및 현황 ... 8
  • 제 5 절 이론적 배경 ... 15
  • 제 2장 시험계획 ... 21
  • 제 1 절 신뢰성 현황 ... 21
  • 제 2 절 고장원인분석 및 해결방안 ... 21
  • 제 3 절 고장모드 ... 23
  • 제 4 절 QFD ... 24
  • 제 5 절 실험방법 ... 27
  • 제 3 장 실험결과 ... 38
  • 제 1 절 제조공정확립 ... 38
  • 제 2 절 신뢰성 실험 ... 53
  • 제 3 절 신뢰성 수명실험 ... 75
  • 제 4 장 요약 및 결론 ... 80

참고문헌 (25)

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