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NTIS 바로가기주관연구기관 | 산업연구원 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
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연구책임자 | 주대영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-11 |
주관부처 | 산업자원부 |
연구관리전문기관 | 산업자원부 Ministry of Commerce Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201200003756 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 반도체장비재료.성능평가 팹.나노팹. |
1. 사업 필요성 및 목적
- 반도체장비재료의 개발결과를 성능평가할 수 있는 테스트베드의 팹(Fab)이 필요하며, 이를 기존 나노팹에 활용할 수 있는지를 조사 함.
2. 사업 내용 및 범위
-기존 나노팹 인프라의 현안과제와 개선 방안 수림
-신규 팹 건설 타당성 검토
3. 사업의 성과
-기존 나노팹의 재구축방안을 수립하고, 수도권의 신규 팹 설립의 긍정적인 방향 도출
4. 활용방안 및 기대효과
- 산업자원부 및 과학기술부의 담당자 간에 제도개선과 원활한 지원정책을 위해 협의할 수 있는 기본
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