초록 ▼

목표
- 반도체 장비·재료·부분품 제조업체에서 개발중 또는 완료된 제품의 성능을 소자 대기업에서 평가/인증하는 시스템 마련
- 반도체 제조기술 분야의 기술개발 정보 발굴 및 공유

추진전략 및 방법
- 국내 소자대기업(동부하이텍, 삼성전자, SK하이닉스)과 공동기획 및 평가참여를 통하여 소자대기업 제조라인에 적용 가능한 기술정보 확보 및 국산장비개발
- 국내 장비·재료 업체의 성능검증 참여확대 및 연구개발 활성화를 통한 반도체 산업의 질적 성장 도모
- 성능평가 완료 품목에 대해서는 소자대기업이

목표
- 반도체 장비·재료·부분품 제조업체에서 개발중 또는 완료된 제품의 성능을 소자 대기업에서 평가/인증하는 시스템 마련
- 반도체 제조기술 분야의 기술개발 정보 발굴 및 공유

추진전략 및 방법
- 국내 소자대기업(동부하이텍, 삼성전자, SK하이닉스)과 공동기획 및 평가참여를 통하여 소자대기업 제조라인에 적용 가능한 기술정보 확보 및 국산장비개발
- 국내 장비·재료 업체의 성능검증 참여확대 및 연구개발 활성화를 통한 반도체 산업의 질적 성장 도모
- 성능평가 완료 품목에 대해서는 소자대기업이 공개적으로 평가하여 평가결과에 따른 인증서 발급/수여함으로써 중소 장비·재료·부분품업체의 자립기반 능력 확보 및 우수성 인증

수행내용 및 결과
과제도출 및 정보제공
- 최종목표 : 기술 정보 발굴
- 목표치 : 105건
- 결과치 : 117건
- 세부 추진 내용 :
o 매년 소자기업 3개사 전문위원 및 기획위원의 기술교류 워크숍을 통한 국산화 추진 반도체 장비· 재료 품목 발굴
o 소자대기업의 공정적용 공통 RFP. 도출

- 최종목표 : 반도체 장비·재료 개발 로드맵 제시
- 목표치 : 3건
- 결과치 : 3건
- 세부 추진 내용 :
o 산·학·연 공동의 반도체 장비·재료 기술개발의 기준 및 지표 마련
o 반도체산업 발전전략수립 및 R&D 기초자료 활용
o 소자기업과 장비·재료 업체간 정보공유

- 최종목표 : 홈페이지구축 및 평가현황관리
- 목표치 : 100%
- 결과치 : 100%
- 세부 추진 내용 :
o 체계화된 기술정보의 DB구축
-체계화된 기술정보의 DB화 객관성 확보
-성능평가/CIP를 통해 창출된 data의 체계확립
o 창출된 기술정보의 보관, 유지, 공유
o 평가완료 품목에 대한 Web 홍보 추진 등

장비·재료 성능평가 및 성능향상
- 최종목표 : 반도체 장비·재료 성능평가 및 성능향상
- 목표치 : 17건
- 결과치 : 17건
- 세부 추진 내용 :
o 성능평가를 통한 제품의 양산성 평가
-기초성능평가 및 양산성능평가
o 성능향상을 통한 제품의 신뢰성 검증
-기술지도 및 자문을 통한 업그레이드

장비·재료 성능평가 인증
- 최종목표 : 반도체 장비·재료 성능평가 인증서 발급
- 목표치 : 14건
- 결과치 : 16건
- 세부 추진 내용 :
o 기초 및 양산성능평가가 완료한 품목에 대한 인증서 발급여부 심의 및 인증서 발급

보급확산
- 최종목표 : 반도체공정 포럼 및 세미나 개최
- 목표치 : 12회
- 결과치 : 19회
- 세부 추진 내용 :
o 소자대기업 반도체 장비·재료 기술로드맵 발표
o 대·중소 상생협력 방안 모색 및 전략 발표
o 산·학·관의 전문가 조직 체계 구축 및 운영을 통한 반도체 산업 발전 방안 모색

주요 성과
- 국내 반도체 장비·재료·부분품 기술개발을 위한 12개 분과 117건 과제 발굴
- 국내 중소업체에서 개발된 16건의 반도체 장비·재료·부분품 성능평가인증(장비 9건, 재료 3건, 부분품 4건)
- 수행계획서에 제시된 성과목표를 기준으로, 반도체 장비·재료
성능평가사업은 제시한 모든 평가항목에 있어서 설정목표를 100%이상 달성

대표우수사례
1. 진행 배경
- (과제발굴)‘13년 품목선정 기술교류회 워크숍을 통해 T/F 분과의 과제로 발굴
- (평가과제 선정)‘14년 기획위원회, 전문위원회 평가회를 통해 평가과제로 선정
- (평가진행) 삼성전자에서 8개월간 밀착형 기술지도 및 양산평가 진행

2. 평가 내용 및 결과
- 당초 제시한 spec과 동일 또는 그 이상의 Performance 나온 것으로 평가됨

3. 매출 발생 및 향후 예측
- 현재(2016년 1월) 기준으로 500억원(20대) 구매 완료
- 3D V-Nand 및 18나노 DRAM양산 본격화에 따른 제품 수요 급증으로 향후 국내 및 해외에 판매량이 급증될 것으로 기대
- 발급된 인증서(Certification)를 활용하여 중국, 대만 등에 적극적인 마케팅 진행중